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Caracterización de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) fabricadas por la técnica de erosión iónica

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Academic year: 2020

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Tabla I. Condiciones de depósito utilizadas para el crecimien- crecimien-to de las películas de AlN.
Fig. 1. Espectros de difracción de rayos X. En las gráficas se incluye el análisis de indexación de planos
Fig. 2. Espectros XPS de alta resolución para las ventanas de Al2p, N1s y O1s. Las componentes deconvolucionadas (línea punteada) se indican en cada transición
Tabla II. Cálculos de concentración atómica obtenidos a par- par-tir de los espectros XPS correspondientes a la muestra 4.

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