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Fabricación y caracterización de películas delgadas de óxidos transparentes con aplicaciones ópticas

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Academic year: 2020

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Figura 1.1: Estructuras cristalinas del In 2 O 3 (a) C´ ubica bixbita, (b) rombo´edrica co-
Figura 1.2: Estructura cristalina del SnO 2 . Las esferas texturizadas representan a los
Figura 2.2: Diagrama esquem´atico del proceso de dep´osito de material sobre un sustrato
Figura 2.3: Ilustraci´on esquem´atica de las regiones de carga en un proceso de erosi´on i´onica reactiva por DC.
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