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Caracterización y modelado de sensores capacitivos para aplicaciones médicas

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©INAOE 2015 Derechos reservados

El autor otorga al INAOE el permiso de reproducir y distribuir copias de esta tesis en su totalidad o en partes

Caracterización y modelado de sensores

capacitivos para aplicaciones médicas

por

M.C Daniela Díaz Alonso

Tesis sometida como requisito parcial para obtener el grado de

Doctor en ciencias en la especialidad de

Electrónica

En el

Instituto Nacional de Astrofísica,

Óptica y Electrónica

Junio 2015 Tonantzintla, Puebla

Supervisada por:

Dr. Wilfrido Calleja Arriaga. Investigador Titular del INAOE

(2)

ii

Resumen

La medición oportuna de la presión en el cuerpo humano, de manera directa, precisa

y continua; es necesaria para detectar, evitar, y/o dar tratamiento adecuado, a una gran

variedad de enfermedades relacionadas con variaciones significativas en este parámetro

fisiológico. Entre las afecciones más comunes podemos mencionar: Glaucoma,

hipertensión e hidrocefalia.

El glaucoma es un grupo de enfermedades oculares degenerativas con patogénesis

compleja y multifactorial, que a la fecha, aun no se entiende completamente. Sin embargo,

existe una relación constante y bien definida entre el aumento de la presión intraocular

(PIO) y la progresión de la enfermedad. De no ser tratada a tiempo, el nervio óptico sufre

un daño severo que conduce a una condición de ceguera irreversible. Actualmente, la

tonometría de Goldman se utiliza para medir la PIO. En esta técnica, se aplica sobre la

cornea una fuerza externa calibrada, que permite relacionar la oposición del tejido con

indicadores ópticos en el instrumento de medición, para determinar la magnitud de la PIO.

Sin embargo, los datos obtenidos no son del todo precisos, puesto que se basan en la

suposición incorrecta de que todos los individuos sujetos al estudio presentan cornea con

igual fortaleza. Adicionalmente, la tonometría solo puede llevarse a cabo en consultorios de

hospitales, y es altamente dependiente del operador, además, para mayor certeza de las

mediciones se requiere repetir el procedimiento varias veces durante el día, lo que resulta

en una técnica que altera la estabilidad emocional y que afecta las actividades cotidianas del

paciente.

La hipertensión arterial es un síndrome caracterizado por la elevación de la presión

arterial (PA), y en la actualidad, se le considera como uno de los principales problemas de

Salud Pública. La hipertensión arterial es un factor de riesgo muy decisivo para el

desarrollo progresivo de enfermedades cardiovasculares. La hidrocefalia, es la acumulación

excesiva del liquido cefalorraquídeo (LCR) en el cerebro, como resultado de la dilatación

anormal del sistema ventricular, y a su vez ocasiona una presión potencialmente perjudicial

(3)

iii

De la misma manera que en la presión intraocular, existen procedimientos y técnicas

conocidas para medir la presión arterial e intracraneal, pero de aquí muchos investigadores

y especialistas en el campo, coinciden en la necesidad de lograr un monitoreo continuo las

24 horas del día, que no solo permita la medición oportuna de la presión, sino que también

se obtengan datos en distintas condiciones de reposo y actividad, más allá del ámbito de un

hospital, para entender a profundidad la fisiología de la enfermedad.

El presente proyecto de tesis aborda el desarrollo de un sensor de presión capacitivo

en modo de contacto (TMCPS), fabricado mediante la tecnología de micromaquinado

superficial PolyMEMS INAOE®. El sensor se diseña considerando su implante en el

cuerpo humano y que opere en medios biológicos bajo un rango de presión de 1-80mmHg.

Este dispositivo integrado se modela como un capacitor de placas paralelas, el electrodo

dinámico superior (diafragma suspendido) y el electrodo inferior (fijo al substrato) están

aislados mediante una doble capa aislante/aire, para permitir el adecuado funcionamiento

dinámico en modo de contacto, sin posibilidad de cortocircuito. Toda la superficie externa

está diseñada para hacer contacto directo con el medio biológico, por lo que, el dispositivo

es recubierto con una película aislante biocompatible. Los sensores se fabrican con

diafragma de simetría circular, cuadrada y rectangular. El material estructural consiste de

películas de aluminio de 0.5µm de espesor y dimensiones espaciales que varían en un rango

de 200-400 micrómetros.

El proceso de diseño y fabricación de sensores capacitivos tipo TMCPS con

aluminio como material estructural, se desarrolló como alternativa a los sensores

capacitivos a base de polisilicio como material estructural. Esta variante permite gran

flexibilidad de diseño, fabricación y aplicaciones de los prototipos capacitivos

desarrollados con la Tecnología PolyMEMS INAOE. Además, esta tecnología es

perfectamente adecuada para desarrollar sensores de presión con etapas de manufactura a

bajas temperaturas. Este aspecto permite la integración de los sensores con un proceso

análogo de bobinas de aluminio integradas en substratos flexibles de poliimida para la

(4)

iv

Abstract

The timely measurement of pressure in the human body, directly, precisely, and

continuously, it is necessary to detect, prevent, and/or provide adequate treatment to a

variety of diseases related with significant variations in this physiological parameter.

Among the most common conditions we can mention: Glaucoma, hypertension, and

hydrocephalus.

Glaucoma is a group of degenerative eye diseases with complex and multifactorial

pathogenesis that, to date is still not fully understood. However, there is a constant and

well-defined relationship between the increase in intraocular pressure (IOP) and the disease

progression. If not treated early, the optic nerve suffers severe damage leading to a

condition of irreversible blindness. Currently, Goldman tonometry is used to measure IOP.

In this technique, a calibrated external force is applied to the cornea that relates the opposed

tissue with optical indicators on the measuring instrument to determine the magnitude of

IOP. However, the obtained data are not entirely accurate, since they are based on the

incorrect assumption that all individuals subject to the study present cornea with equal

strength. Further, the tonometry may only be performed in clinic hospitals and is highly

operator dependent; in addition; to greater certainty of measurement, it is required to repeat

the procedure several times during the day, resulting in a technique that alters the emotional

stability and affects the patient’s daily activities.

Hypertension is a syndrome characterized by elevated blood pressure (BP), and

today, it is considered as one of the major public health problems. Hypertension is a risk

factor very decisive in the progressive development of cardiovascular diseases.

Hydrocephalus is an excessive accumulation of cerebrospinal fluid (CSF) in the brain, as a

result of abnormal dilation of the ventricular system, and in turn causes a potentially

harmful pressure to the brain parenchyma; this pressure is called intracranial pressure

(ICP).

(5)

v

In the same way as in the intraocular pressure, there are well established procedures

and techniques for the measuring blood and intracranial pressure, but many researchers and

experts in the field agree on the need for continuous monitoring 24 hours a day, not only

enabling timely measurement of pressure, but also providing data under different conditions

of rest and activity beyond the scope of a hospital, to understand in depth the physiology of

the disease.

This thesis project addresses the development of a touch mode capacitive pressure

sensor (TMCPS) manufactured with the surface micromachining technology called

PolyMEMS INAOE®. The sensor is designed by considering implantation into the human

body and for an operating pressure range in biological media between 1-80mmHg. This

integrated device is modeled as a parallel plate capacitor, the upper dynamic electrode

(suspended diaphragm) and the lower electrode (fixed to the substrate) are insulating by a

double insulator/air layer to allow proper dynamic operation in contact mode, without the

possibility of short circuit. The entire outer surface is designed to make direct contact with

the biological medium, so that, the device is coated with a biocompatible insulating film.

The sensors are fabricated with circular, square and rectangular diaphragm symmetry. The

structural material is a 0.5µm-thick aluminum film and it spatial dimension varies within a

range of 200-400 microns.

The process for designing and manufacturing TMCPS sensors with aluminum as a

structural material was developed as an alternative to capacitive pressure sensors based on

Polysilicon as structural material. This variant allows great flexibility in design,

manufacture and application of capacitive technology prototypes developed with

PolyMEMS INAOE®. Moreover, this technology is well suited to develop pressure sensors

with low thermal budget manufacturing steps. This aspect allows the full integration of

pressure sensors with a similar process of aluminum coils fabricated on flexible polyimide

(6)

vi

A mí querido esposo Manuel y a mí adorada hija Sofía, quienes día a día me motivan para seguir adelante con su inmenso amor…

A mis padres Cuper y Daniel

A mis hermanos Arturo, Rogelio, Laura y Nel

Y especialmente a ustedes tres que siempre están en mi corazón:

(7)

vii

Agradecimientos

A Dios, por sostenerme y no dejarme caer en los momentos más difíciles…

A mi esposo y a mi hija, por alegrar mis días, por enseñarme el amor sincero, por apoyarme incondicionalmente, y porque simplemente sin ustedes no sería lo que soy…

A mis padres Cuper y Danielpor su apoyo, cariño y amor que siempre me han dado.

A mis hermanos Arturo, Rogelio, Laura y Nel por su amor, compañía y apoyo…

A mi asesor Dr. Wilfrido Calleja Arriagagracias por sus enseñanzas y sus consejos…

Al Dr. Mario Moreno Moreno por su disposición y apoyo durante este proyecto…

A mis sinodales, Dr. Luis Niño de Rivera y Oryazabal, Dr.Alejandro Díaz Mendez, Dr. Carlos Zuñiga Islas, Dr. Luis Hernández Martínez y Dr. Ignacio Zaldivar Huerta por

evaluar mi trabajo de tesis.

También quiero expresar mi gratitud a Juan Manuel Álvarez Ledesma, Manuel Escobar, Israel Medina, Oscar Aponte, Ignacio Juárez, Alfonso Cortes, Pablo Alarcón, Mauro

Landa, Adrian Itzmoyotl, Netzahualcoyotl Carlos, Leticia Tecuapetla, Armando Hernández, Víctor Aca, Marino Conde, Adriana Tepaneca, Dr. Miguel Rocha, Dr. Alejandro Díaz Sánchez. y demás técnicos de los laboratorios de Microelectrónica y LNN

del INAOE por todo su apoyo, sus consejos y disposición para culminar este proyecto de tesis durante el desarrollo experimental.

Al Departamento de Física del CINVESTAV por las facilidades otorgadas para el uso del SEM, en especial al Dr. Ángel Guillen

(8)

viii

Al Consejo Nacional de Ciencia y Tecnología (CONACyT) por la beca otorgada No. 224192

A mis tres grandes amigos, Israel Vivaldo, Oscar Addiel Seseña y Fernando Quiñones porque pese a la distancia y el tiempo siempre han tenido un espacio para mí.

A mis compañeros y Amigos, Cesar Calleja Gómez, Luis Antonio Carillo, Hiram Enrique Martínez, Manolo Pérez Ramos, Adrian Tec, Ramón Báez, Carolina Rosas, Oscar Lozada, Johanny Escobar, Natiely Hernández, que hicieron de esta estadía en el INAOE,

una gran experiencia….

A la comunidad del INAOE en general y aquellos profesores que tuve el gusto de conocer…

(9)

ix

Índice

Resumen………..ii

Abstract………...iv

Dedicatoria……….vi

Agradecimientos………...vii

Índice………...ix

Lista de Acrónimos………...xii

Lista de Símbolos……….xiii

Capitulo 1. Introducción……….………...1

1.1Antecedentes………...1

1.2Motivación y Justificación………...2

1.3Objetivos………...3

1.4Organización de la tesis………..4

1.5Referencias…………...5

Capitulo 2. Sensores Biomédicos y sus aplicaciones………6

2.1Introducción………6

2.2Presión en el cuerpo humano………...6

2.2.1 Presión intraocular (PIO)………..7

2.2.2 Presión arterial o sanguínea (PA)………10

2.2.3 Presión intracraneal (PIC)………...14

2.3Sensores Biomédicos……….15

2.3.1 Sensores físicos y sus aplicaciones en Biomedicina………...15

2.4Requerimientos para sensores de Presión in vivo..………16

2.4.1 Tamaño………17

2.4.2 Rango y Precisión………17

2.4.3 Materiales y consideraciones de encapsulado……….18

2.4.4 Telemetría y circuitería electrónica……….19

2.5Estado del arte………20

2.6Resumen……….26

(10)

x

Capitulo 3. Diseño de un sensor capacitivo hermético para aplicaciones

biomédicas………...33

3.1Aspectos generales de un sensor tipo TMCPS………...33

3.2Consideraciones de diseño de un sensor tipo TMCPS para aplicaciones en modo invasivo………..………42

3.2.1 Suministro de Energía y restricciones de tamaño………...42

3.2.2 Biocompatibilidad………...44

3.3Modelado del sensor TMCPS considerando un diafragma compuesto Aluminio-Poliimida……….44

3.4Capacitancia del Sensor TMCPS………...52

3.5Resumen.………56

3.6Referencias……….57

Capitulo 4. Proceso de Fabricación de un sensor de presión TMCPS………..59

4.1Introducción………..……….59

4.2Descripción del proceso de fabricación del sensor TMCPS………..59

4.3Condiciones de depósito y grabado de la Poliimida PI-2610 de HD Microsystem…..62

4.3.1 Etapa de liberación mecánica……….65

4.3.2 Etapa de Sellado con Poliimida………...70

4.4Resumen………72

4.5Referencias………72

Capitulo 5. Caracterización eléctrica………74

5.1Introducción………..74

5.2Caracterización preliminar………..………...76

5.2.1 Mediciones de capacitancia a nivel oblea………76

5.2.2 Mediciones de capacitancia en encapsulado ………...79

5.2.3 Sistema implementado para suministrar Presión………..82

5.2.4 Circuito implementado para caracterizar la variación de capacitancia con presión……….………...84

5.3Resumen…...………..88

5.4Referencias……… 89

Capitulo 6. Conclusiones………90

6.1Conclusiones………..90

(11)

xi

Apéndice A. Diseño y Proceso de fabricación de Bobinas de Aluminio

integradas en substratos flexibles de Poliimida………..92

Apéndice B. Aplicación del Teorema de ejes paralelos para determinar

la superficie neutral en diafragmas compuestos………101

(12)

xii

Lista de Acrónimos

APCVD Depósito Químico en fase Vapor a Presión Atmosférica (Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition)

APEC Asociación Para Evitar la Ceguera

ASIC Circuito Integrado de Aplicación Especifica (Application-Specific Integrated Circuit)

CVD Depósito químico en fase vapor (Chemical vapor deposition)

CPP Presión de Perfusión Cerebral (Cerebral Perfusion Pressure)

GPAA Glaucoma Primario de Ángulo Abierto

GPAC Glaucoma Primario de Ángulo Cerrado

HI Hipertensión Intracraneal

IC Circuitos Integrados (Integrated Circuit)

IICP Presión Intracraneal Idiopática (Idiopathic Intracraneal Pressure)

LCR Líquido Cefalorraquídeo

MEMS Sistemas Micro Electro Mecánicos (Micro Electro

Mechanical System)

MICS Servicios de Comunicación de Implantes Médicos (Medical Implant Communication Service)

PA Presión Arterial

PS Presión Sanguínea

PIO Presión Intraocular

PIC Presión Intracraneal

RF MEMS Sistemas Micro Electro Mecánicos para aplicaciones de Radio Frecuencia

SAR Razón de Absorción Específica (Specific Absorption Rate)

TMCPS Sensor de Presión Capacitivo en Modo de Contacto (Touch Mode Capacitive Pressure Sensor)

(13)

xiii

Lista de Símbolos

a ½ de la longitud lateral de un diafragma cuadrado [m]

Atouch Área de contacto del diafragma con el electrodo inferior aislado [m]

C Capacitancia del diafragma [F]

CS Capacitancia del sensor [F]

Cpo Capacitancia del sensor a presión cero [F]

D Rigidez de Flexión [Pa·m3]

D1 Rigidez de flexión del material inferior en un diafragma [Pa·m3]

D2 Rigidez de flexión del material superior en un diafragma [Pa·m3]

Dcomp Rigidez de Flexión Compuesta [Pa·m3]

d Separación inicial entre los electrodos del diafragma [m]

deff Separación efectiva en un TMCPS considerando un material aislante

intermedio[m]

E Modulo de Young [Pa]

E1 Modulo de Young de Aluminio [Pa]

E2 Modulo de Young de Poliimida [Pa]

e1 Distancia desde la superficie neutral del diafragma compuesto hacia la parte

inferior del diafragma [m]

e2 Distancia desde la superficie neutral del diafragma compuesto hacia la parte

superior del diafragma [m]

εaire Constante dieléctrica del aire

εd Constante dieléctrica del material aislante εo Permitividad dieléctrica del vacío [F/m]

G Ganancia en el Amplificador de instrumentación

h Espesor del diafragma [m]

h1 Espesor de la película de aluminio[m]

h2 Espesor de la película de Poliimida [m]

iC Corriente en el sensor capacitivo [A]

LS Inductancia de la bobina Integrada con el Sensor capacitivo [H]

(14)

xiv

Ptouch Presión de contacto [mmHg/Torr]

r Radio de un diafragma circular

Si Silicio

td Espesor del material dieléctrico [m]

Vm Señal de entrada variante en el tiempo [V]

V0 Voltaje de salida en amplificador [V]

ν Coeficiente de Poisson

ω Desplazamiento del diafragma [m]

ωmax Deflexión máxima del diafragma [m]

ω(p) Desplazamiento del diafragma en función de la presión aplicada[m]

Operador biharmónico

ΔC Variación de capacitancia [F]

(15)

1

Capítulo 1

Introducción

1.1 antecedentes

Los Sistemas Micro Electro Mecánicos (MEMS, por sus siglas en ingles), son la

integración de dispositivos mecánicos (sensores y actuadores) con tecnologia de circuitos

integrados en un mismo substrato, se caracterizan por tener dimensiones en escala de los

micrómetros. Inicialmente, la tecnologia MEMS fue basada en silicio con procesos de

fabricación que utilizan Micromaquinado de Volumen y Micromaquinado Superficial. Sin

embargo, otros materiales tales como, vidrios, cerámicos y polímeros han sido adaptados

para esta tecnologia. Algunas ventajas de los dispositivos MEMS son su tamaño reducido,

peso ligero, bajo consumo de energía y alta funcionalidad en comparación con los

dispositivos convencionales. Además, la tecnología MEMS ofrece la reducción de costos

en su proceso de manufactura, debido a sus técnicas de procesamiento por lotes, de manera

similar que en el desarrollo de circuitos integrados semiconductores (IC) [1.1]. En las

primeras etapas, los dispositivos MEMS demostraron ser una revolucionaria tecnología en

diversos campos del dominio de la física, tales como, Mecánica (sensores de presión,

acelerómetros, y giroscopios), Microfluídica (boquillas de inyección de tinta), Acústica

(micrófonos), RF MEMS (conmutadores y resonadores) y Óptica (microespejos) [1.2].

Gradualmente, la tecnología MEMS ha demostrado dar soluciones únicas y ofrece la

posibilidad de desarrollar dispositivos innovadores, no solo en la industria automotriz y

aeroespacial, por mencionar algunas; sino que actualmente, los dispositivos MEMS han

penetrado en el campo de la medicina, principalmente con el desarrollo de BioMEMS y

MEMS para aplicaciones biomédicas. En el proceso, los ingenieros biomédicos se han

comprometido activamente en el diseño, desarrollo, y la utilización de materiales,

dispositivos, sensores y técnicas para la investigación clínica, así como el diagnóstico y

tratamiento de pacientes [1.3]. En este aspecto, los polímeros son altamente atractivos para

aplicaciones biomédicas por que ofrecen biocompatibilidad, y bajo costo; además, pueden

(16)

2

1.2 Motivación y Justificación

Muchas de las enfermedades pueden ser controladas con el uso de medicamentos si

son diagnosticadas antes de que el daño al órgano, tejido o mecanismo de control sea

irreversible. La solución ideal de tratamiento exige el monitoreo continuo de los parámetros

fisiológicos de interés [1.4], lo que implica una medición las 24 horas del día con el uso de

sensores biomédicos que puedan ser implantados en el cuerpo humano. Esto permitiría la

detección oportuna de cualquier enfermedad, el seguimiento y tratamiento adecuado, y por

último, sería posible evitar el deterioro definitivo de algún órgano del cuerpo humano.

Aunque investigadores y clínicos en el campo médico, reconocen la necesidad de un

esquema de medición permanente de la presión en pacientes con afecciones ligadas a este

parámetro, actualmente no existe un dispositivo confiable y eficaz, que presente un proceso

de fabricación sencillo y de bajo costo que permita que sea practico; y que al mismo tiempo

ofrezca una gran estabilidad y operación a largo plazo para la medición de la presión dentro

del cuerpo humano.

En este contexto, el presente proyecto doctoral, se enfoca a la realización de un

sensor mecánico, diseñado y orientado a medir la presión Intraocular en medios biológicos

mediante un esquema totalmente invasivo. Este dispositivo fue diseñado con un esquema

capacitivo que considera una cavidad hermética y dinámica, cuyas capacidades de

integración se basan en técnicas de micromaquinado superficial mediante la tecnología

PolyMEMS INAOE®. De manera preliminar ha sido reportado el uso de películas de

Polisilicio para definir al elemento sensor (diafragma suspendido). Los resultados

mostraron que los diafragmas fabricados con películas de 2µm de polisilicio son flexibles y

mecánicamente estables [1.5]. Actualmente, la tecnología PolyMEMS INAOE® demuestra

ser lo suficientemente productiva para traspasar sus horizontes y desarrollar sensores de

presión incorporando películas de aluminio, como elemento estructural, y materiales como

poliimida, que en conjunto establecen un proceso de fabricación con etapas de manufactura

a bajas temperaturas <400°C. Todo esto, habilita la integración completa con un sistema de

(17)

3

1.3 Objetivos

El principal objetivo del presente proyecto de tesis es la fabricación y

caracterización eléctrica y mecánica de un sensor de presión absoluto

para operar en un rango de 1-80mmHg, y que tendrá como aplicación

principal la medición de presión en medios biológicos (Presión

intraocular, Presión sanguínea, Presión intracraneal)

A fin de alcanzar el objetivo se deben desarrollar los siguientes objetivos particulares:

a) Explorar la integración de películas de Aluminio, y materiales como resinas y

Poliimida con las principales etapas de manufactura de la tecnología de

micromaquinado superficial PolyMEMS INAOE®, para culminar con el desarrollo

de un proceso de fabricación de bajo costo y de menor complejidad.

b) Desarrollar una rutina de sellado hermético con Poliimida, que permita que el

dispositivo sensor pueda operar con una cavidad interna sellada que no se afecte por

el fluido biológico.

c) Considerando el diseño preliminar de estructuras capacitivas para medir presión;

modelar el efecto mecánico en el comportamiento de los diafragmas suspendidos,

cuando se incorpora un material adicional de cubierta y protección anticorrosión.

d) Implementación de un circuito electrónico a nivel discreto que permita evaluar las

variaciones de capacitancia en los dispositivos

e) Implementación de un sistema adecuado para suministrar presión de manera

(18)

4

1.4 Organización de la tesis

La redacción de la tesis está organizada de la siguiente manera:

En el capítulo 2 se presentan una introducción general a los aspectos médicos más

importantes relacionados a la medición de la presión en el cuerpo humano. Además, se

detallan aspectos importantes de sensores biomédicos y sus principales aplicaciones. Por

último, se concluye el capitulo presentando el estado del arte de prototipos de sensores

biomédicos aplicados a la medición de la presión intraocular, la presión sanguínea y la

presión intracraneal.

En el capítulo 3 se detallan los aspectos y consideraciones de diseño más

importantes. Así mismo, se presenta el análisis por Elementos Finitos usando un software

con licencia CoventorWare para modelar el comportamiento mecánico de sensores de

presión que incluyen diafragmas compuestos por dos materiales distintos.

En el capítulo 4 se describe el trabajo experimental realizado en las distintas etapas

del proceso de fabricación.

En el capítulo 5 se detallan los aspectos generales de la metodología de medición

para realizar la caracterización eléctrica los dispositivos. Además, se presentan los

resultados obtenidos durante la caracterización preliminar.

Finalmente en el capítulo 6 se presentan las conclusiones derivadas de la tesis y se

(19)

5

1.5 referencias

[1.1] Madou, M. (1997). “Fundamentals of Mcrofabrication”, CRC Press.

[1.2] Bourne, M. (2007). “A Consumer’s Guide to MEMS & Nanotechnology”, Bourne Research LLC, 1st edition.

[1.3] Harsanyi G. (2000). “Sensors in Biomedical Applications: Fundamentals, Technology and Applications”, CRC Press.

[1.4] Leonardi, M., Leuenberger, P., Bertrand, A. Bertsch, and P. Renaud. (2004). “First steps toward noninvasive intraocular pressure monitoring with a sensing contact lens,” Investigative Ophthalmologhy & Visual Science, Vol. 45, No. 9, pp. 3113–3117.

[1.5] Díaz-Alonso, D. (2010) “Fabricación y Caracterización de estructuras para monitorear presión, Tesis de Maestria, INAOE Electrónica.

[1.6] Rendón-Nava, A. E., Díaz-Méndez, J. A., Nino-de-Rivera, L., Calleja-Arriaga, W., Gil-Carrasco, F., & Díaz-Alonso, D. (2014). “Study of the Effect of Distance and Misalignment between Magnetically Coupled Coils for Wireless Power Transfer in Intraocular Pressure Measurement”. The Scientific World Journal, Vol. 2014, Article ID 692431, 11 pages.

(20)

6

Capítulo 2

Sensores Biomédicos y sus aplicaciones

2.1 Introducción

En el siglo XX, la innovación técnica y tecnológica ha progresado a un ritmo tan

acelerado que se ha impregnado en casi todos los aspectos de nuestras vidas. Este aspecto

es más evidente en el campo de la medicina. Con innovaciones tecnológicas casi continuas

que han conducido a la atención médica, profesionales de la ingeniería se han involucrado

íntimamente en muchas empresas médicas. Como resultado, la disciplina de la ingeniería

biomédica se ha convertido en un medio de integración para dos profesiones dinámicas: la

medicina y la ingeniería electrónica [2.1]. El campo de la ingeniería biomédica incluye

muchas nuevas áreas: biomecánica, biomateriales, modelado fisiológico, simulación y

control, entre otras. Una de las partes más importantes de la ingeniería biomédica es la de

sensores biomédicos, que permiten la detección de procesos biológicos y su conversión a

señales. Desde un punto de vista fisiológico, la presión en el cuerpo humano es un

parámetro crítico en muchos diagnósticos clínicos. En este contexto, han sido realizados

muchos esfuerzos para desarrollar sensores de presión MEMS que sean adecuados y

faciliten un monitoreo continuo de la presión en el cuerpo humano (intraocular, sanguínea,

e intracraneal) y que permiten evaluar y diagnosticar a tiempo cualquier enfermedad con la

finalidad de dar una mejor calidad de vida a los pacientes. En este capítulo se abordaran los

aspectos más relevantes de la medición de presión en el cuerpo humano (intraocular,

sanguínea e intracraneal); además, se detallan los antecedentes que conciernen el desarrollo

de sensores biomédicos.

2.2 Presión en el cuerpo humano

El cuerpo humano está compuesto por múltiples órganos los cuales cumplen funciones

especificas para el adecuado funcionamiento del organismo y la salud de la persona, los

(21)

7

sistemas; aparato circulatorio, aparato digestivo, sistema inmunológico, aparato

respiratorio, entre otros. El cuerpo se ve afectado tanto por condiciones al interior del

organismo como por su entorno, entre este hecho se encuentra la presión. En este capítulo

se abordan las principales presiones que pueden ser medidas en el cuerpo humano y que a

menudo proporcionan indicadores médicos valiosos; entre las que destacan: la presión

arterial o sanguínea, la presión intraocular, y la presión intracraneal.

2.2.1 Presión intraocular

La Presión intraocular (PIO) se mantiene constante mediante el equilibrio que existe

entre la producción y eliminación de líquido en la parte anterior del ojo,

denominado humor acuoso. Si la circulación del humor acuoso es normal, éste entra al

ojo desde el cuerpo ciliar a través de las cámaras del ojo y sale por la red trabecular y el

canal de Schlemm, como se ilustra en la figura 2.1(b). En estos casos la PIO oscila entre

10-21 milímetros de mercurio (mmHg) [2.2]. Cuando se produce una alteración

modificando la circulación del humor acuoso y no se llega a producir la compensación

de salida por falla en el mecanismo de drenaje, figura 2.1(c), aumenta la presión dentro

de la cavidad ocular y nos encontramos ante un cuadro de hipertensión ocular que

clasificaremos como un tipo de glaucoma, de acuerdo con la tabla 2.1 [2.3].

Tabla 2.1 Clasificación de los tipos de Glaucoma

Presión característica Tipo de Glaucoma

10 mm Hg Congénito

>21 mm Hg Baja tensión o Normatensional

30-45 mm Hg Primario de Angulo Abierto (GPAA)

45-60 mm Hg Primario de Angulo Cerrado (GPAC)

Aunque los investigadores y clínicos en el campo reconocen la necesidad de un

seguimiento continuo en los pacientes con glaucoma, ningún método esta todavía

disponible [2.4]. El diagnostico del glaucoma se basa principalmente en la medición de

la PIO por tonometría, el aspecto de la papila, el estado de la capa de las fibras nerviosas

y la campimetría [2.5]. En un ambiente clínico, la tonometría de Schiotz (Indentación) y

(22)

8

son los dos métodos generalmente utilizados, existiendo además la tonometría de

no-contacto (aire). La tabla 2.2 presenta una comparación entre estos métodos [2.6].

(a)

(b) (c)

Fig. 2.1 Cuerpo ciliar. (a) Ubicación del cuerpo ciliar en el globo ocular. (b) Circulación del

humor acuoso en un ojo normal. (c) Circulación del humor acuoso en un ojo afectado por

glaucoma

Tabla 2.2 Métodos utilizados para la tonometría.

Método de Tonometría Ventajas y Desventajas

Tonometría de Indentación (Schiotz)

-Requiere de Anestesia -Abrasión corneal

-La repetición de lecturas puede reducir la PIO (efecto

tonográfico)

Tonometría de Aplanación (Goldmann)

-Accesorio de lámpara de hendidura

-Permite mediciones mas exactas

-Requiere de anestesia y fluoresceína sódica

Tonometría de no-contacto -No requiere anestesia -Instrumento de alto costo

(23)

9

Sin embargo, el método de Goldmann se ha convertido en el procedimiento estándar

para la medición de la PIO, puesto que es considerado como exacto y preciso entre las

técnicas de tonometría existentes. Esta técnica utiliza un aparato especial denominado

lámpara de hendidura donde se coloca el tonómetro, ver figura 2.2. Debido a que este

instrumento de medición tiene contacto directo con el ojo, la anestesia tópica es

necesaria junto con un medio de contraste llamado fluoresceína. El material de contraste

permite que el doctor busque las irregularidades de la superficie del ojo [2.7]. La

medición de la PIO requiere una fuerza que aplane el ojo; la superficie de aplanación

tiene un diámetro de 3.06 mm situado en el centro de un cilindro plástico. La cantidad de

la fuerza en el cilindro se controla con precisión y se puede leer en una escala colocada

en la perilla del equipo. De esta manera, la PIO es obtenida de la relación que existe

entre la fuerza y el área de contacto [2.8]. Una de las principales desventajas de los

tonómetros de aplanación es la propagación de infecciones si los dispositivos no están

esterilizados adecuadamente. Además de que una porción de humor acuoso puede ser

desplazado durante la medición. Por último, mientras se mide la PIO real, la tonometría

de aplanación no puede realizar un monitoreo continuo, lo cual es su limitación más

importante [2.4]. De hecho, la única forma de obtener datos sobre el comportamiento de

la PIO, es repetir las mediciones muchas veces al día, lo que permite sólo una

estimación aproximada, además de ser un procedimiento muy incomodo para los

pacientes. Más aún, se debe considerar que algunas variables pueden afectar las

mediciones: la rigidez de la cornea puede sobrestimar la PIO; lágrimas pueden

subestimar la medición y alto astigmatismo corneal pueden causar grandes desviaciones

[2.8].

(24)

10

2.2.2 Presión arterial o sanguínea

La presión sanguínea es la presión ejercida por la sangre circulante sobre las paredes de

los vasos sanguíneos, y constituye uno de los principales signos vitales. La presión de la

sangre disminuye a medida que la sangre se mueve a través de arterias, arteriolas, vasos

capilares, y venas [2.9], ver figura 2.3; el término presión sanguínea generalmente se

refiere a la presión arterial, es decir, la presión en las arterias más grandes que forman

los vasos sanguíneos que toman la sangre que sale desde el corazón. Los valores de la

presión sanguínea se expresan en milímetros de mercurio (mmHg), a pesar de que

muchos dispositivos de presión vascular modernos ya no usan mercurio.

Figura 2.3 Distribución de la sangre en las diferentes partes del sistema circulatorio [2.9].

La presión arterial varía durante el ciclo cardíaco de forma semejante a una función

(25)

11

máximo de la curva de presión en las arterias y que ocurre cerca del principio del ciclo

cardiaco durante la sístole o contracción ventricular; la presión arterial diastólica es el

valor mínimo de la curva de presión (en la fase de diástole o relajación ventricular del

ciclo cardíaco), este mecanismo es ilustrado en la figura 2.4. La presión media a través

del ciclo cardíaco se indica como presión sanguínea media; la presión del pulso refleja la

diferencia entre las presiones máxima y mínima medidas [2.10]. Los modelos suelen

indicar un rango que va desde los 0 mmHg a los 300 mmHg (que es rango de la presión

arterial medible en los humanos), existiendo modelos que permiten medir sólo hasta los

260 mmHg. Para la mayoría de las personas sanas, la presión sistólica varía entre 90 y

120 mmHg, mientras que la presión diastólica normal varía entre 60 y 80 mmHg.

Figura 2.4 Mecanismo de la presión Arterial.

La medición de la presión arterial es el examen médico más común para un diagnostico

clínico completo. El control de la presión arterial, es en gran parte responsable de una

disminución significativa en ataques al corazón y muertes cerebrovasculares en las

últimas tres décadas [2.11]. La tabla 2.3 muestra los valores normales en la presión

arterial en adultos, así como algunos rangos de medición que pueden conducir a mayores

(26)

12

Tabla 2.3 Clasificación de la Presión arterial de acuerdo con la corporación “American Heart

Asocciation” [2.11].

Clasificación de la Presión arterial Sistólica

mmHg (Alta)

Diastólica

mmHg (Baja)

Normal Menor que 120 y Menor que 80

Pre-hipertensión 120-139 o 80-89

Hipertensión (Etapa 1) 140-159 o 90-99

Hipertensión

(Etapa 2)

160 o mayor o 100 o mayor

Crisis Hipertensa

(Requiere atención médica inmediata)

Mayor que 180 o Mayor que 110

Los aparatos de medición de la presión arterial o sanguínea se encuentran entre las

herramientas de diagnóstico más antiguas. La medición de la presión arterial, debida

al flujo sanguíneo, es decir la presión sistólica (de contracción del corazón, o de

bombeo) y de presión diastólica se realiza convencionalmente utilizando la técnica de

Korotkoff mediante esfigmomanómetros de mercurio o aneroide [2.12]. El

esfigmomanómetro consiste en un brazalete (también llamado brazal) que es inflado con

una perilla manual, o cualquier otro dispositivo que bombee aire, inflando el brazalete

hasta que oprime el brazo, como se ilustra en la figura 2.5. La presión dentro del

brazalete se mide mediante un manómetro que indica la presión sanguínea. El

manómetro y el brazalete se encuentran unidos por una correa de goma. La opresión del

brazo se eleva hasta que, por oclusión, cesa el tránsito de sangre por la arteria

braquial (denominada también arteria humeral) en su fosa cubital; esta oclusión ocurre a

unos 250 mmHg aproximadamente [2.10]. La perilla, o dispositivo de bombeo, posee

una válvula de purga (o válvula de aeración o en algunos casos válvulas Check) que

permite descender la presión del brazalete de una forma controlada. La colocación del

estetoscopio en la arteria braquial permite auscultar los intervalos de audición de los

(27)

13

Figura 2.5 Método de auscultación manual para medir la presión arterial sistólica y diastólica [2.9]

Existen también los aparatos automáticos (denominados esfigmomanómetros digitales)

que poseen un brazalete ajustable a la muñeca, al brazo o incluso a un dedo. El

funcionamiento básico de este tipo de esfigmomanómetro es similar: posee su brazalete

y su manómetro; a veces incorpora un compresor eléctrico para inflar el brazalete. El

brazalete dispone en su interior de sensores que no solo son capaces de medir la presión

estática, sino que incluyen un proceso de filtrado electrónico apropiado para detectar las

ondas de presión causadas por el efecto Korotkoff (sonidos de Korotkoff), permitiendo

conocer el intervalo de presión diastólica y sistólica. Este método de medición se

conoce como oscilométrico [2.1]. Por regla general, suelen medir la presión arterial

media. Cuanto más distal es el punto de medida de la tensión arterial, mayor es la

influencia de la vasoconstricción periférica sobre los resultados de la medición. Estos

instrumentos también contienen una pequeña computadora que cuenta con memoria y

reloj. El brazalete dispone además en su interior de sensores capaces de detectar los

sonidos de Korotkoff, permitiendo conocer el intervalo de presión diastólica y sistólica.

Por regla general, suelen medir la presión arterial media. Generalmente, este tipo de

aparatos contiene un sistema auscultatorio y otro oscilométrico. El sistema auscultatorio

(28)

14

Korotkoff, mientras que los dispositivos oscilométricos analizan la transmisión de

vibración de la pared arterial.

2.2.3 Presión intracraneal

La Presión intracraneal (PIC) es la presión dentro del cráneo y por lo tanto en el tejido

cerebral y el líquido cefalorraquídeo (LCR). El cuerpo tiene varios mecanismos por los

que se mantiene estable la PIC, con variaciones en la presión del LCR que varían

alrededor de 1 mmHg (adultos) mediante cambios en la producción y la absorción de

LCR. La presión del LCR es altamente influenciada por cambios bruscos en la presión

intratorácica durante la tos (presión intra-abdominal), y la comunicación con el sistema

vascular (sistemas venoso y arterial). La PIC se mide en milímetros de mercurio

(mmHg). Los cambios en la PIC se atribuyen a los cambios de volumen en uno o más de

los constituyentes contenidos en el cráneo. La hipertensión intracraneal, comúnmente

abreviado como HI o IICP es la elevación de la presión en el cráneo. Una PIC es normal

cuando se encuentra en un rango de 7-15 mmHg [2.13]. Para valores de la PIC entre

20-25 mmHg o superiores, se requiere un tratamiento médico para reducir la PIC y no

desencadenar algún daño neurológico [2.14]. La medición de la presión intracraneal

(PIC) se considera una de las bases en la atención clínica neurointensiva moderna.

Básicamente, el parénquima cerebral es casi incompresible, encerrado en una porción de

hueso que no se expande; además es un sistema complejo con un equilibrio entre la

circulación de la sangre y el líquido cefalorraquídeo (LCR) [2.15]. Cuando se produce

una lesión cerebral traumática, hemorragia subaracnoidea, accidente cerebrovascular,

intracerebral, Hematomas o meningitis, afecta este equilibrio y la PIC aumenta. Por lo

tanto, mediante el seguimiento y la medición oportuna de la PIC, cualquier lesión

secundaria, que pudiera causar daño neurológico permanente o incluso la muerte, puede

ser detectada y tratada a tiempo [2.16]. Cuando la presión de perfusión cerebral (CPP),

obtenida sustrayendo la PIC de la presión arterial media, cae por debajo de 50 mmHg,

las consecuencias pueden ser la isquemia cerebral secundaria, hernia, y, en última

(29)

15

2.3 Sensores biomédicos

Los sensores biomédicos toman señales que representan variables médicas y

generalmente las convierten en una señal eléctrica u óptica. Por lo tanto, el sensor

biomédico sirve como una interfaz entre un sistema biológico y un sistema electrónico

[2.1]. Los sensores biomédicos se utilizan en campos de aplicaciones médicas como

dispositivos para diagnóstico y monitoreo de enfermedades. Sin embargo, una de las tareas

de investigación más importante para sensores biomédicos, también comprende el

desarrollo de sistemas de control que puedan ser implantados en el cuerpo humano; y que

sean capaces de operar continuamente por largos periodos de tiempo, con el fin de simular

la función de un órgano interno u otro mecanismo de control. Muchas enfermedades

crónicas son el resultado de la operación fallida de alguno de los sistemas de control del

cuerpo humano.

2.3.1 Sensores físicos y sus aplicaciones en Biomedicina

En general, los sensores biomédicos se clasifican respecto a los siguientes aspectos: por

el parámetro físico que miden (presión, temperatura, flujo, pH, etc.), por su función

(terapéutico, diagnostico, monitoreo, asistencia etc.), por el principio de transducción

que emplean (resistivo, capacitivo, inductivo, etc.), por el sistema fisiológico al que son

enfocados (cardiovascular, pulmonar, nervioso, etc.), por las especialidades médicas

pediatría, oftalmología, cardiología, etc.), y por los niveles de riesgo que representan.

Los sensores biomédicos son conocidos como sensores físicos aplicados a la medicina, y

son usados en aplicaciones de monitoreo, como órganos artificiales, dispositivos de

control clínico y doméstico, además están incluidos en grandes aparatos de diagnostico

para la detección y tratamiento de enfermedades. Entre sus principales aplicaciones

(30)

16

Tabla 2.4 Características de diferentes sensores en aplicaciones biomédicas.

Tipo de

sensor

Aplicación

Médica

Parámetro Fisiológico Características

Térmico

-Diagnostico

clínico y personal

-Monitoreo

Medición de temperatura en el

interior del cuerpo, superficial (piel)

y en la sangre.

-Dispositivos de bajo costo

-Pequeños

-Desechables

Mecánico

-Diagnostico

clínico y personal

-Monitoreo

Medición de la presión intraocular,

intracraneal, intra-abdominal,

sanguínea o arterial, presión en la

vejiga, flujo respiratorio, impulsos

de presión o movimiento.

-Dispositivos de bajo costo

-Pequeños

-Desechables

Ultrasónico -Monitoreo

-Escaneo Médico

-Diagnostico

Imágenes por ultrasonido,

Sonografía Doppler para medir el

flujo sanguíneo.

-Bajo costo

- Fáciles de transportar

-Alto rendimiento

Acústico Órganos

artificiales

Aparatos de ayuda auditiva

Magnético/

-Diagnostico

-Terapia

Medición de la actividad cerebral,

Resonancia Magnética Nuclear,

Imagen de rayos X, Tomografía

computarizada (CT), Tomografía

por emisión de Positrones (PET).

-Gran tamaño

-Alto costo

-Controlados por

computadora

De manera particular, este trabajo se enfoca al estudio y análisis de sensores mecánicos,

en los cuales su respuesta mecánica es consecuencia de una variación en un parámetro

fisiológico: la presión en el cuerpo humano.

2.4 Requerimientos para Sensores De Presión In Vivo

En muchos aspectos, los sensores biomédicos son similares a los que se utilizan en otros

campos de investigación, industriales o comerciales. Sin embargo, cuando su aplicación

esta relacionada con el cuerpo humano, las especificaciones de seguridad y confiabilidad

son más exigentes. Por lo tanto, cuando se consideran los requisitos para un sensor de

(31)

17

cuerpo humano (modo invasivo) para analizar in vivo o usado externamente para analizar

una muestra in vitro. Para sensores implantados, el diseño se guía por una serie de

requisitos especiales que sobrepasa a la selección inicial de un esquema de transducción de

presión [2.17]. Estos requisitos se detallan a continuación.

2.4.1 Tamaño

El tamaño del implante depende totalmente de la aplicación, y debe ser suficientemente

miniaturizado a fin de obtener la colocación apropiada del sensor en el cuerpo humano

(es decir, debe ser compatible con las técnicas de implantación y considerar las

restricciones anatómicas) y la integración con componentes de telemetría (que

aumentará aún más el impacto). Mediante el aprovechamiento de los avances en las

tecnologías de micromaquinado, se han desarrollado sensores basados en MEMS que

minimizan el impacto global y las dimensiones [2.17]. El tamaño total del sistema

completo se puede reducir mediante la combinación de sensores con circuitos integrados

de aplicación específica (ASIC) en lugar de componentes electrónicos discretos. Sin

embargo, las bobinas de acoplamiento inductivo (que son utilizadas para una adecuada

alimentación del sensor) y las baterías siguen siendo relativamente grandes e imponen

límites prácticos a una efectiva miniaturización.

2.4.2 Rango y Precisión

Los rangos de presión de interés, incluyendo rangos de presión anormales, para

diferentes áreas del cuerpo humano se enumeran en la tabla 2.5 y gráficamente se

presentan en la figura 2.6. Los sensores deben ser capaces de medir rangos de presión

normales y anormales, que son clínicamente relevantes en diversas condiciones y

enfermedades. Tomados en conjunto, estas presiones abarcan el rango de -10 a 200

mmHg cuando se miden en referencia a la presión atmosférica [2.17]. Comúnmente la

especificación de precisión del sensor a través de la mayoría de las aplicaciones in vivo

mencionadas en la tabla 1.5, es solo una medida con una desviación de ± 1 mmHg, o 5%

(32)

18

Figura 2.6 Rangos de presión relevantes para monitoreo y diagnostico de presión en aplicaciones

medicas.

Tabla 2.5 Parámetros relevantes en el desarrollo de sensores de presión para aplicaciones implantables

en el cuerpo humano.

Aplicación Rango de Presión

(mmHg) [Ref.] Resolución (mmHg) [Ref.] Frecuencia (Hz) [Ref.] Consideraciones de encapsulado Presión Intracraneal (PIC)

-10 a 50 [2.18] 1 [2.19] 0-30 [2.20] Integración por

shunt, catéter Presión Intraocular

(PIO)

10-21, >21 valor

anormal [2.2], [2.21]

2 [2.22], [2.23] 0-30 [2.24] Needle delivery, lentes de contacto

Presión Arterial o

Sanguínea 50-180 [2.25] 1 [2.25] 0-200 [2.25]

Catéter, stent (cánula)

Presión de la Vejiga 10-70, ~150 durante

la evacuación [2.26] 1 [2.27] 3-5 [2.28],[2.29] Catéter intrauretral

Presión

Intra-abdominal 0.2-16.2 [2.30] --- 0-15 [2.31] ---

2.4.3 Materiales y Consideraciones de encapsulado

Cuando se consideran los materiales y métodos de empaquetado para sensores de

presión implantables, se deben analizar tres aspectos importantes:

(1) La integración aceptable con el tejido humano (es decir, una baja citotoxicidad).

(33)

19

(3) La estabilidad mecánica a largo plazo del dispositivo en el medio biológico.

Debido a la inevitable respuesta del cuerpo humano contra un sensor implantado ajeno a

su naturaleza, se deben elegir materiales apropiados para tratar de limitar la

contaminación biológica y poder obtener un rendimiento en el dispositivo sensor más

confiable y a largo plazo [2.32]. La esterilización también es un factor importante

cuando se seleccionan los materiales; los dispositivos deben ser capaces de resistir los

procesos de esterilización mediante calor o químicos (por ejemplo, óxido de etileno o

plasma) [2.33], [2.34]. Además, las consideraciones adicionales para el diseño de

dispositivos también pueden beneficiar la integración [2.35]. Para sensores que se

diseñan con circuitos activos, es necesario garantizar un adecuado encapsulado

hermético para impedir la intrusión del medio biológico, y así evitar una falla en la

operación del dispositivo. Para proporcionar una hermeticidad adicional mejorar la

biocompatibilidad al sistema, es posible realizar una encapsulado secundario con una

cubierta de Parileno [2.36-2.41]. Sin embargo, para sensores que basan su operación en

diafragmas o membranas, la elección del material debe considerar la estabilidad

mecánica a largo plazo [2.42], [2.43]; ya que una cubierta adicional sobre la estructura

del diafragma reduce la sensitividad del dispositivo [2.37-2.39], [2.44-2.46].

2.4.4 Telemetría y circuitería electrónica

El diseño de la circuitería electrónica, para implantes que utilizan métodos de telemetría,

requiere un tratamiento cuidadoso considerando una serie de ventajas y desventajas que

afectan el consumo de energía, el tamaño de la antena y la frecuencia de transmisión.

Las características de radiación electromagnética deben priorizar cuidadosamente la

seguridad y el rendimiento cuando se dirigen a los retos de potencia y transmisión de

datos en el entorno in vivo. Se han establecido normas que limitan el calentamiento del

tejido y la tasa de radiación específica de absorción (SAR), [2.47], [2.48]. Una banda de

frecuencias con licencia para comunicaciones, servicio de comunicaciones de implantes

médicos (MICS), fomenta el desarrollo de sistemas de telemetría dentro de un rango de

402-405 MHz, pero estudios más recientes sugieren que funciona a una frecuencia más

(34)

20

calentamiento dieléctrico durante los exámenes de resonancia magnética (especialmente

si el implante se encuentra en una zona crítica en el cuerpo), tal que se recomienda

realizar un análisis de resonancia magnética previo a la implantación del dispositivo

[2.38].

2.5 Estado del Arte

Los primeros dispositivos MEMS para ser utilizados en la industria biomédica eran

sensores de presión arterial reutilizables en 1980. Los sensores de presión MEMS tienen la

clase más grande de aplicaciones, incluyendo presión sanguínea (PS), presión intraocular

(PIO), la presión intracraneal (PIC), presión intrauterina, y la angioplastia [2.50]. Algunos

fabricantes de sensores de presión MEMS para aplicaciones biomédicas incluyen

CardioMEMS, Freescale Semiconductors, GE Sensing, Measurement Specialties, Omron,

Sensimed AG y Silicon Microstructures, entre otros.

Debido a que los procedimientos estándares de seguimiento clínico no identifican

los picos y variaciones en la Presión intraocular (PIO), se han realizado muchos intentos de

encontrar una solución práctica y portátil para el monitoreo continuo de la PIO. Con la

miniaturización de los sensores y actuadores, se han desarrollado nuevas técnicas de

medición, entre las que destacan principalmente, los lentes de contacto con circuitos

integrados y los sensores de presión intraocular. Los primeros lentes de contacto fueron

desarrollados por Gilman y Greene [2.51], como el primer método no invasivo de medición

de la PIO. Este sistema consistía de una suave lente de contacto, en la cual se integraban

sensores de deformación. Esta lente se colocaba sobre el ángulo meridional de la unión

corneoescleral para medir los cambios angulares debido a variaciones PIO. Su principal

inconveniente surgía por la necesidad de que la lente de contacto tenía que estar moldeada

como una copia exacta de la forma del ojo en cada paciente, conduciendo a un sistema de

sensado muy costoso. Por otro lado, los sensores de presión intraocular implantables,

presentan algunas ventajas de medición, ya que son independientes de la superficie ocular y

la rigidez de la cornea. En general, estos dispositivos basan su funcionamiento en sensores

capacitivos, porque consumen menor potencia, son inmunes a las variaciones de la

(35)

21

novedoso de estos dispositivos, es que permiten desarrollar sensores implantables que

facilitan un monitoreo continuo las 24 horas. Además, las mediciones múltiples o continuas

de la PIO en pacientes con glaucoma, puede ayudar a mejorar el diagnostico, ofrecer un

mejor seguimiento y administrar el tratamiento adecuado para esta enfermedad, con la

finalidad de evitar una irreversible pérdida de la visión. Se conocen diversas técnicas para

fabricar estructuras de tipo capacitivo. Sin embargo, en el caso de sensores de presión

intraocular, no se conoce un procedimiento efectivo de fabricación. A continuación se

describen algunos prototipos de sensores de presión intraocular (sensor PIO) recientemente

reportados. Katuri et al, proponen un esquema de medición continua de la PIO que

considera un sensor de presión capacitivo para operar en un rango de 0-50 mmHg, y que

puede ser usado como parte de un circuito LC implantable conectado a una microbobina

[2.53]; este trabajo solo se enfoca a desarrollar el procedimiento de fabricación del sensor

de presión, el cual utiliza un proceso comercial conocido como PolyMUMS, que usa como

material estructural al Polisilicio. Las dimensiones del diafragma de Polisilicio son de

100µm x 100µm. Como parte complementaria, los autores proponen que el sensor PIO y la

antena deberán ser encapsulados con un polímero biocompatible conocido como parileno

antes de ser implantado. El dispositivo completo y la antena deberán mantener una forma

cilíndrica para ser montados en la periferia exterior del iris a través de un procedimiento

mínimamente invasivo, como se observa en la figura 2.7. Además, la bobina deberá ser

flexible para ser colocada en la ubicación del implante haciendo una pequeña incisión en la

cornea.

(36)

22

Xue et al, desarrollaron un sensor de PIO implantable que consiste de una bobina inductora

fabricada de oro y un dispositivo capacitivo con un diafragma suspendido fabricado de

resina SU-8, como se ilustra en la figura 2.8. El sensor está completamente encapsulado

con la resina para aislarlo del medio biológico, además de que este material ofrece la

biocompatibilidad necesaria. Este dispositivo tiene dimensiones de 3.23mm x 1.52mm y

funciona para un rango de presión de 0-60 mmHg [2.54]. El sensor opera de manera

inalámbrica con una bobina externa. El diseño considera que la bobina externa debe estar

colocada cerca de la ceja para transmitir potencia y recibir la señal del sensor PIO

implantado. La operación del sensor se basa en detectar cambios en frecuencia de la

impedancia de fase de la bobina externa, de esta manera, la señal de la PIO es obtenida a

través del sensor implantado. Sin embargo, debido a que se necesita un buen acoplamiento

de las dos bobinas del sensor (la implantada y la externa) durante las mediciones, la

distancia de lectura solo es hasta 6mm del sensor implantado, lo que significa que la

ubicación de la bobina externa debe controlarse adecuadamente para evitar errores durante

las mediciones. Además, el procedimiento de fabricación del dispositivo requiere que

algunas etapas del proceso sean cuidadosamente probadas para una reproducción

satisfactoria.

Fig. 2.8. Esquema del sensor PIO inalámbrico [2.54].

Ganji et al, proponen un sensor de presión capacitivo basado en un diafragma de Polisilicio

con un diseño que incluye una cantidad de ranuras, como se ilustra en la figura 2.9, con el

argumento de que mejoran la respuesta mecánica y el procedimiento de fabricación [2.55].

Sin embargo, esta propuesta solo es a nivel de diseño por computadora sin considerar la

(37)

23

sugieren recubrir el sensor con un polímero para que pueda ser implantado, pero no

consideran el impacto que tendrá el sensor con este material adicional. Otra propuesta

ofrece un prototipo capacitivo para monitorear presión intraocular (PIO), que también basa

su funcionamiento en un sensor capacitivo con un diafragma circular escalonado, ver figura

2.10 [2.56]. Este tipo de estructuras mejora la sensibilidad y la linealidad en la operación

del dispositivo. No obstante, su dispositivo solo contempla el diseño a nivel de simulación

por computadora, sin considerar el procedimiento de fabricación.

Fig. 2.9. Sensor PIO ranurado [2.55].

(38)

24

Por último, en 2014 fue desarrollado por la marca comercial Semsimed´s Triggerfish un

sensor MEMS para monitorear la PIO mostrado en la figura 2.11 [2.57]. Éste consiste de

unos lentes de contacto desechables con un sensor de presión MEMS del tipo strain-gages

(medidores de deformación), y una antena integrada (en forma de anillo) en conjunto con

un microprocesador ASIC (Chip de 2mm x 2mm). El sensor MEMS incluye un anillo

externo circular integrados a medidores de deformación pasivos para medir el cambio en la

curvatura corneal en respuesta a la PIO. La antena, embebida en los lentes de contacto,

recibe la potencia desde un sistema de control externo y se la envía de manera

retroalimentada al sistema. Éste último dispositivo, parece ser la solución a los problemas

de monitoreo continuo de la presión Intraocular. Sin embargo, el método de detección no es

completamente directo, ya que los resultados de medición se basan en cambios en la

curvatura de la cornea (siendo esta una medición indirecta de la PIO), que no considera que

la curvatura de la superficie ocular y la rigidez de la cornea difieren para cada paciente en

particular.

(39)

25

La miniaturización de sensores de presión basados en silicio habilita la posibilidad de

técnicas de monitoreo de la presión arterial en modo invasivo. Lo que conlleva a un

seguimiento continuo de los impulsos de presión hemodinámicos que son generados por los

latidos del corazón. Una aproximación consiste en el sensor de presión arterial de la figura

2.12, el cual ha sido integrado en una carcasa plástica esterilizada llamada domo. Para su

funcionamiento, una cánula es alojada en una de las arterias, y un tubo traslada la presión

arterial hacia el domo en donde entra en contacto con el diafragma del sensor de presión

[2.1]. En algunas ocasiones, puede colocarse un diafragma intermedio entre la sangre y el

chip del sensor, y la cavidad entre ambos se llena con aceite de silicona. Por lo tanto, la

coagulación de la sangre y la formación de proteínas se producen en el diafragma

intermedio, el cual puede ser reemplazado periódicamente, sin afectar el desempeño del

chip del sensor.

Figura 2.12 Sensor para mediciones de Presiones hemodinámicas en aplicaciones Invasivas [2.1]

La Figura 2.13 presenta un modelo 3D de una propuesta inalámbrica para un sensor de

presión intracraneal en la punta de un catéter. El sistema consta de cuatro componentes

principales; un sensor de presión de silicio, una cápsula, un catéter e interconexiones

eléctricas [2.16]. Se implementó un sensor de presión piezoresistivo sobre un diafragma

delgado de silicio con el fin de convertir la presión en una señal eléctrica. Se utiliza una

cápsula pequeña de un polímero para empaquetar el sensor de presión. Las interconexiones

(40)

26

conectado a un transmisor inalámbrico (Fig. 2.13b). El tubo del catéter que protege las

interconexiones se desarrolla a partir de películas de poliimida flexibles. El sistema del

catéter propuesto (figura 2.13a) tiene un diámetro de 1.16mm y una longitud aproximada de

200mm.

Fig. 2.13 Sensor de Presión Intracraneal convencional en uso (izquierda). Modelo 3D del sensor inalámbrico propuesto (derecha).

2.6 Resumen

Existen grandes deficiencias en los diseños existentes de sensores biomédicos, entre las que

destacan las siguientes:

1) El proceso de implantación del dispositivo no es totalmente reversible. En caso de

falla del dispositivo o al final de tratamiento y/o control, la extracción del dispositivo

no restaura el estado original del tejido alrededor del implante, y en el peor de los casos

esta etapa no se considera profundamente.

2) Los diseños actuales de implantes de sensores PIO no han considerado ampliamente,

las limitaciones espaciales en el ojo, la complejidad quirúrgica y sobre todo la

integridad a largo plazo de los dispositivos.

3) El proceso de fabricación, en la mayoría de los casos, no se contempla

adecuadamente durante el diseño de los dispositivos, y en otros casos, involucran

procedimientos de fabricación con etapas complejas que generan costos adicionales en

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