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Estudio de la influencia de la variación del flujo de acetileno y del voltaje de polarización del sustrato sobre el estrés interno de películas Ti-DLC

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Academic year: 2020

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Figura  1.1 Diagrama de fase ternario para del DLC, gráfico extraído de Robertson [15]
Figura 1.2 Etapas iniciales del crecimiento de películas mediante técnicas de fase vapor [18]
Figura 1.4 Diagrama esquemático del modelo TMD [21].
Figura 1.5 Esquema de la posible interacción del ion incidente con la superficie del blanco
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