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012 ELCONTACTOMETAL SEMICONDUCTOR

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Academic year: 2020

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(1)

Prof. José Malaguera

179 DISPOSITIVOS UNIPOLARES. EL CONTACTO METAL-SEMICONDUCTOR

MODELO DE BANDAS DE ENERGÍA.

MODELO IDEAL Y ESTADO SUPERFICIAL

Relación de energía electrónica para un contacto ideal entre un metal y un

semiconductor tipo n en ausencia de estados superficiales.

Inicialmente se muestra que el metal y el semiconductor sin contacto y el

sistema no se encuentra en equilibrio térmico.

Si se un conductor conecta al semiconductor con el metal se establece

equilibrio térmico los niveles de Fermi se alinean.

En relación al nivel de Fermi en el metal, el nivel de Fermi en el

(2)

Prof. José Malaguera

180 DISPOSITIVOS UNIPOLARES. EL CONTACTO METAL-SEMICONDUCTOR

MODELO DE BANDAS DE ENERGÍA.

MODELO IDEAL Y ESTADO SUPERFICIAL

(3)

Prof. José Malaguera

181 DISPOSITIVOS UNIPOLARES. EL CONTACTO METAL-SEMICONDUCTOR

MODELO DE BANDAS DE ENERGÍA.

(4)

Prof. José Malaguera

182 DISP

OS IT IV O S UNIP O LARES. E L C O N T ACTO ME T A L-SE MI CONDUCTOR

MODEL

O

DE BANDAS DE ENERGÍA.

LA REGIÓN DE VACIAMIENTO

Diag ra ma d e ene rgía de un contac to se miconductor meta l d e tipo n

con un meta

(5)

Prof. José Malaguera

183 DISPOSITIVOS UNIPOLARES. EL CONTACTO METAL-SEMICONDUCTOR

EL EFECTO SCHOTTKY

Diagrama de Banda de Energía entre una superficie

metálica y el vacío. La Función de Trabajo del metal

q

Φ

m

. La Función de Trabajo efectiva (o Barrera)

disminuye si se aplica un campo eléctrico a la

superficie. La disminución se debe a la

(6)

Prof. José Malaguera

184 DISPOSITIVOS UNIPOLARES. EL CONTACTO METAL-SEMICONDUCTOR

EL EFECTO SCHOTTKY

Función de

Trabajo del

metal para

una superficie

metálica

(7)

Prof. José Malaguera

185 DISP

OS

IT

IV

O

S

UNIP

O

LARES.

E

L

C

O

N

T

ACTO

ME

T

A

L-SE

MI

CONDUCTOR

E

L

E

F

ECTO SCHOTTKY

Mediciones de Barreras de Bajo

Nivel en función del campo

(8)

Prof. José Malaguera

186 DISPOSITIVOS UNIPOLARES. EL CONTACTO METAL-SEMICONDUCTOR

EL EFECTO SCHOTTKY

Diagrama de Banda

de energía

incorporando el

efecto Schottky

para un contacto de

un metal con un

semiconductor

tipo

n,

bajo condiciones

de polarizaciones

diferentes. La

barrera mas alta

intrínseca es

q

Φ

BO

.

La barrera mas alta

en equilibrio

(9)

Prof. José Malaguera

187 DISPOSITIVOS UNIPOLARES. EL CONTACTO METAL-SEMICONDUCTOR

EL PROCESO DE TRANSPORTE DE CORRIENTE

(10)

Prof. José Malaguera

(11)

Prof. José Malaguera

(12)

Prof. José Malaguera

(13)

Prof. José Malaguera

(14)

Prof. José Malaguera

192 DISPOSITIVOS UNIPOLARES. EL CONTACTO METAL-SEMICONDUCTOR

EL TRANSPORTE DE CORRIENTE. EL PROCESO DE EMISIÓN TERMOIÓNICA Y DE DIFUSIÓN

Diagrama de

Banda de

Energía

incorporando

el efecto

Schottky. La

energía

potencial del

electrón es

q

ψ

(x),

y el

Pseudo nivel

de Fermi es

(15)

Prof. José Malaguera

193 DISP

OS IT IV O S UNIP O LARES. E L C O N T ACTO ME T A L-SE MI CONDUCTOR EL TRANSPORT E DE CORRI ENT E . EL PRO C ES O DE EMISIÓN T E RMOIÓNICA

Y DE DIF

U

SIÓN

La Constante efectiva

de Richardson

calculada

A**

en

función el campo eléctrico de

Barreras para metal-Sil

ic

(16)

Prof. José Malaguera

(17)

Prof. José Malaguera

195 DISP

OS IT IV O S UNIP O LARES. E L C O N T ACTO ME T A L-SE MI CONDUCTOR

EL TRANSPOR

TE DE CORRIEN

TE. LA CORRIENTE TÚNEL.

Val

o

res t

eóricos y experiment

ales d

e la C

u

rva Caracterís

tica para Barreras de A

u

(18)

Prof. José Malaguera

(19)

Prof. José Malaguera

197 DISP

OS IT IV O S UNIP O LARES. E L C O N T ACTO ME T A L-SE MI CONDUCTOR E L TRANSPORTE DE CORR

IENTE. INYECCIÓN DE P

O RTADORE S MINORITARIOS

.

D

en

sidad

d

e la

co

rr

ie

n

te

de

s

atu

ra

ci

ón

en

f

unc

ión

d

e la c

oncent

ra

ci

ón

de dopado de Barre

ras de

(20)

Prof. José Malaguera

EL TRANSPORTE DE CORRIENTE. INYECCIÓN DE PORTADORES MINORITARIOS.

(21)

Prof. José Malaguera

199 DISP

OS IT IV O S UNIP O LARES. E L C O N T ACTO ME T A L-SE MI CONDUCTOR E L TRANSPORTE DE CORRIE

NTE. INYECCIÓN DE P

O

RTADORE

S MINORITARIOS

.

Relación de la

corrie

nte túnel con la compon

e

n

te de corriente termoiónica de una barrera

Au

-Si

. La corriente Túne

l dominant

e (

Jt

/Jth

>1

) para un dopa

d

o eleva

do

y

(22)

Prof. José Malaguera

EL TRANSPORTE DE CORRIENTE. INYECCIÓN DE PORTADORES MINORITARIOS.

(23)

Prof. José Malaguera

201-1 DISPOS

ITIV O S UNIP O LARES. E L C O NTAC TO META L-SEMICONDUCTOR E L TRANSPORTE DE CORRIE

NTE. INYECCIÓN DE P

O

RTADORE

S MINORITARIOS

.

Relaci

ón normada de l

a inyecci

ón de

portadores mi

noritarios en funci

ó

n

de la densidad de corri

ent

e norm

(24)

Prof. José Malaguera

201-2 DISPOS

ITIV

O

S

UNIP

O

LARES. E

L

C

O

NTAC

TO META

L-SEMICONDUCTOR

E

L

TRANSPORTE

DE CORRIE

NTE. INYECCIÓN DE P

O

RTADORE

S MINORITARIOS

Tiempo normado de al

macenamiento

de portadores minorit

arios en

función de la densidad

(25)

Prof. José Malaguera

202-1 DISPOSITIVOS UNIPOLARES. EL CONTACTO

METAL-SEMICONDUCTOR. LA BARRERA DE POTENCIAL. CARACTERÍSTICAS GENERALES.

(26)

Prof. José Malaguera

202-2 DISPOSITIVOS UNIPOLARES. EL CONTACTO

METAL-SEMICONDUCTOR. LA BARRERA DE POTENCIAL. CARACTERÍSTICAS GENERALES.

•Φ

M

= Función Trabajo del Metal

Φ

Bn

= Barrera alta de la barrera metal-semiconductor

Φ

BO

= Valor asimptótico de

Φ

Bn

para un campo eléctrico cero

Φ

O

= Nivel de energía en la superficie.

Φ

= Nivel de energía imagen de la barrera baja

= Potencial a lo largo de la capa de la interfaz

χ

= Afinidad electrónica del semiconductor

V

bi

= Barrera de Potencial

ε

S

= Constante dieléctrica del semiconductor

ε

i

= Constante dieléctrica de la capa de la interfaz

δ

= Espesor de la capa de la interfaz

(27)

Prof. José Malaguera

203 DISPOSITIVOS UNIPOLARES. EL CONTACTO METAL-SEMICONDUCTOR

(28)

Prof. José Malaguera

LA BARRERA DE POTENCIAL. CARACTERÍSTICAS GENERALES.

(29)

Prof. José Malaguera

205 DISPOSITIVOS UNIPOLARES. EL CONTACTO METAL-SEMICONDUCTOR

LA BARRERA DE POTENCIAL. CARACTERÍSTICAS GENERALES.

(30)
(31)

Prof. José Malaguera

206 DISP

OS IT IV O S UNIP O LARES. E L C O N T ACTO ME T A L-SE MI CONDUCTOR

LA BARRERA DE P

(32)

206-1 DISPOSI TI VO S UNIPO L ARES. E L CONTACT O METAL-SEMICONDUCTOR

LA BARRERA DE P

O T E NCIAL . CARACTERÍS TICAS GENERALES Es c a la de e lect ro ne gati vi da d de

Pauli. Observe la

(33)

Prof. José Malaguera

207 DISP

OS

IT

IV

O

S

UNIP

O

LARES.

E

L

C

O

N

T

ACTO

ME

T

A

L-SE

MI

CONDUCTOR

LA BARRERA DE P

O

TENCIAL.

CARACTERÍSTICAS GENERALES.

(34)

Prof. José Malaguera

LA BARRERA DE POTENCIAL. CARACTERÍSTICAS GENERALES.

(35)

Prof. José Malaguera

209 DISPOSITIVOS UNIPOLARES. EL CONTACTO METAL-SEMICONDUCTOR

LA BARRERA DE POTENCIAL. CARACTERÍSTICAS GENERALES.

(36)

Prof. José Malaguera

(37)

Prof. José Malaguera

211-1 DISPOS

ITIV

O

S

UNIP

O

LARES. E

L

C

O

NTAC

TO META

L-SEMICONDUCTOR

LA BARRERA DE P

O

TENCIAL. ME

DICION CORRIENTE-VOLTAJE.

D

ensidad de corrient

e en polariz

ación

directa en funci

ó

n de l

a tensi

ón

aplicada de diodos W

-Si y W

(38)

Prof. José Malaguera

211 DISP

OS IT IV O S UNIP O LARES. E L C O N T ACTO ME T A L-SE MI CONDUCTOR

LA BARRERA DE P

O

TENCIAL. ME

DICION CORRIENTE-VOLTAJE.

Densi

d

ad de corriente de sat

u

ración teórica para 300K en

fu

nci

ó

n

de la

para una constante de

Richardson

d

e 120A/cm

2 /K

(39)

Prof. José Malaguera

212 DISP

OS IT IV O S UNIP O LARES. E L C O N T ACTO ME T A L-SE MI CONDUCTOR

LA BARRERA DE P

O

TENCIAL. ME

DICION CORRIENTE-VOLTAJE.

Se

a-Diodo PtSi-Si con un anillo p

rotecto r d e difu sión, b-co mp ara ción d e lo s resultados experi m

entales y teór

(40)

Prof. José Malaguera

212-1 DISPOS

ITIV O S UNIP O LARES. E L C O NTAC TO META L-SEMICONDUCTOR

LA BARRERA DE P

O

TENCIAL. ME

DICION CORRIENTE-VOLTAJE.

Corriente de fuga inversa en función

del diámetro del diodo para diodos

(41)

Prof. José Malaguera

212-2 DISPOSITIVOS UNIPOLARES. EL CONTACTO METAL-SEMICONDUCTOR LA BARRERA DE POTENCIAL. MEDICION CORRIENTE-VOLTAJE.

(42)

Prof. José Malaguera

213 DISP

OS

IT

IV

O

S

UNIP

O

LARES.

E

L

C

O

N

T

ACTO

ME

T

A

L-SE

MI

LA BARRERA DE P

O

TENCIAL. MEDICION

DE LA ENERGÍA DE ACTIVACIÓN.

Gráfico de la energía de activaci

ón para determinar la altura

(43)

Prof. José Malaguera

214 DISP

OS IT IV O S UNIP O LARES. E L C O N T ACTO ME T A L-SE MI CONDUCTOR

LA BARRERA DE P

O

TENCIAL. MEDICI

ON DE LA CAPACITANCIA-TENSIÓN.

Semiconductor con un nivel bajo de dado

res y con un nivel al

to de dadores.

ND

es la

concentraci

ón baj

a de dadores y

NT

es la concentraci

ón

alta de dadores

(44)

Prof. José Malaguera

215-1 DISPOS

ITIV

O

S

UNIP

O

LARES. E

L

C

O

NTAC

TO META

L-SEMICONDUCTOR

LA BARRERA DE P

O

TENCIAL. MEDICI

ON DE LA CAPACITANCIA-TENSIÓN.

1/C

2 en función de la tensión

aplicada para diodos W

(45)

Prof. José Malaguera

215-2 DISPOS

ITIV

O

S

UNIP

O

LARES. E

L

C

O

NTAC

TO META

L-SEMICONDUCTOR

LA BARRERA DE P

O

TENCIAL. MEDICI

ON DE LA CAPACITANCIA-TENSIÓN.

(46)

Prof. José Malaguera

216 DISP

OS IT IV O S UNIP O LARES. E L C O N T ACTO ME T A L-SE MI CONDUCTOR

LA BARRERA DE P

O TENCIAL. ME DICIONES FOTOE L ÉCTRICAS. a-Arregl

o esquemático p

ara medi ci ones fo toeléctrico, b-D iagra m

Energía para procesos de fo

to excitaci

(47)

Prof. José Malaguera

217 DISPOSITIVOS UNIPOLARES. EL CONTACTO METAL-SEMICONDUCTOR

LA BARRERA DE POTENCIAL. MEDICIONES FOTOELÉCTRICAS.

Raíz cuadrada de la respuesta fotónica por fotón incidente en función de la energía del fotón para diodos W-Si y W-GaAs. Los valores extrapolados son las barreras altas

(48)

Prof. José Malaguera

LA BARRERA DE POTENCIAL. MEDICIONES FOTOELÉCTRICAS.

(49)

Prof. José Malaguera

219 DISPOSITIVOS UNIPOLARES. EL CONTACTO METAL-SEMICONDUCTOR LA BARRERA DE POTENCIAL. MEDICIONES FOTOELÉCTRICAS.

(50)

Prof. José Malaguera

219 DISP

OS IT IV O S UNIP O LARES. E L C O N T ACTO ME T A L-SE MI

MEDICIONES DE LA BARRERA DE POTENCIAL.

Altura de las barreras sobre Si

ti

po n y

GaAs medi

das para temperatura ambiente

(51)

Prof. José Malaguera

(52)

Prof. José Malaguera

221 DISP

OS IT IV O S UNIP O LARES. E L C O N T ACTO ME T A L-SE MI CONDUCTOR AJ

USTES DE LA BARRERA DE POTE

NCIAL.

Contactos i

d

eal

izados para el

contr o l d e la b arre ra con una capa fina n+ o una fi na p+ sobre sustrato tipo n

para la reducción e in

(53)

Prof. José Malaguera

222-1 DISPOS

ITIV

O

S

UNIP

O

LARES. E

L

C

O

NTAC

TO META

L-SEMICONDUCTOR

AJ

USTES DE LA BARRERA DE POTE

NCIAL.

Altura de barre

ra efectiva

calculada para contactos Si

y GaAs m

eta

(54)

Prof. José Malaguera

222-2 DISPOS

ITIV

O

S

UNIP

O

LARES. E

L

C

O

NTAC

TO META

L-SEMICONDUCTOR

AJ

USTES DE LA BARRERA DE POTE

NCIAL.

Altura de barrera efectiva para huecos en

sustratos ti

po

p y para electrones en

sustratos tipo

n en función

de una cantidad controlada

(55)

Prof. José Malaguera

223 DISPOSITIVOS UNIPOLARES. EL CONTACTO METAL-SEMICONDUCTOR. ESTRUCTURA DE DISPOSITIVOS.

(56)

Prof. José Malaguera

(57)

Prof. José Malaguera

225 DISP

OS

IT

IV

O

S

UNIP

O

LARES.

E

L

C

O

N

T

ACTO

ME

T

A

L-SE

MI

CONDUCTOR

ESTRUCTURA DE DISP

OS

ITIV

OS

.

Va

rias estructuras de dispos

(58)

Prof. José Malaguera

ESTRUCTURA DE DISPOSITIVOS.

(59)

Prof. José Malaguera

225 DISP

OS IT IV O S UNIP O LARES. E L C O N T ACTO ME T A L-SE MI CONDUCTOR

ESTRUCTURA DE DISP

OS ITIV OS . Fre cu en cia

de corte en

pola riza ció n dire cta e n fu nción de la conc entra ción d e

dopado de la

(60)

Prof. José Malaguera

226-1 DISPOS

ITIV

O

S

UNIP

O

LARES. E

L

C

O

NTAC

TO META

ESTRUCTURA DE DISP

OS

ITIV

OS

.

Diagrama

de Banda de Ener

gía de una Bar

re

ra

Mott

para

diferentes condiciones de

polarizaci

ó

(61)

Prof. José Malaguera

226-2 DISPOS

ITIV

O

S

UNIP

O

LARES. E

L

C

O

NTAC

TO META

L-SEMICONDUCTOR

ESTRUCTURA DE DISP

OS

ITIV

OS

.

Transistor formado por

un

di

od

o Schottky conectado

en

tre Base y el

terminal

de

colector de un transistor bi

(62)

Prof. José Malaguera

Valores teóricos y experimentales para

(63)

Prof. José Malaguera

227-2 DISPOS

ITIV

O

S

UNIP

O

LARES. E

L

C

O

NTAC

TO META

L-SEMICONDUCTOR

EL CONTACTO ÓHMICO.

Altura de la Barre

ra Baja y c

ontactos óhmicos

(64)

Prof. José Malaguera

228 DISP

OS IT IV O S UNIP O LARES. E L C O N T ACTO ME T A L-SE MI CONDUCTOR

EL CONTACTO ÓHMICO.

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